Установка вакуумного напыления PVD GALACTIC GAVA 500 CAPVD

Установка вакуумного напыления PVD GALACTIC GAVA 500 CAPVD была построена в 2022 году в Польше.

Технические характеристики установки для PVD-напыления GALACTIC GAVA 500 CAPVD

• ПЛК-контроллер: MITSUBISHI A1S1
• типы покрытий: TiN, TiCN, TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN, CrAlN, TiSiAlN, AlCrN, ZrO, CrCO
• размеры вакуумной камеры (диам. x в): ⌀600 x 600 мм
• максимальный вес заготовки: 500 кг
• максимальный вакуум: 5x 6-10 мбар
• испаритель CAPVD (2 шт.)
• насос Roots: LEYBOLD 501 S (2 шт.)
• производительность насоса Roots: 4040 м3/ч
• давление насоса Roots: 3-10 мбар
• турбомолекулярный насос: LEYBOLD MAGiNTEGRA
• производительность турбомолекулярного насоса: 2000 л/с
• давление турбомолекулярного насоса: 6-10 мбар
• компрессор
• охлаждающее устройство (chiller)
• спутниковые захваты (18 шт.)
• распределение технологического газа: массовые расходомеры с датчиками
• контроль температуры: термопара K-типа
• электропитание установки GALACTIC GAVA 500 CAPVD: 3x 400 В; 50 Гц