ННВ-6.6-И1 установка для напыления 2001 г.в. ( Булат )

ННВ-6.6-И1 установка для напыления 2001 г.в. 

Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6-И1 предназначена для нанесения упрочняющих однослойных и многослойных покрытий на инструмент широкой номенклатуры диаметром до 200 мм и длиной до 250 мм способом конденсации вещества с ионной бомбардировкой.
Установка может использоваться при напылении коронок зубов, а также при декоративном напылении на изделиях из стекла и металла, фарфора и пластмассы. для нанесения упрочняющих покрытий на инструмент, а также декоративных покрытий состоящие из оксидов, карбидов, нитридов тугоплавких соединений с металлами (титаном, цирконием, хромом, алюминием и др.) 

Структура условного обозначения

ННВ-6.6-И1:
Н - метод нагрева - ионный;
Н - основной конструктивный признак - камерная;
В - среда в рабочем пространстве - вакуум;
6 - диаметр рабочей камеры, дм;
6 - высота рабочей камеры, дм;
И1 - порядковый номер исполнения.

Условия эксплуатации

Высота над уровнем моря не более 1000 м.
Температура окружающего воздуха от 10 до 35°С.
Относительная влажность воздуха до 80 % при температуре 20°С и не более 50 % при температуре 35°С.
окружающая среда невзрывоопасна, не содержит агрессивные газы и пары в концентрациях, вредно действующих на металлы и изоляцию, а также токопроводящую пыль; атмосферное давление от 96,0 до 104,0 кПа (720 - 780 мм рт. ст.).

Технические характеристики

Потребляемая мощность, кВт - 50⁺⁵
Напряжение питающей сети, В - 380+19/220+11
Число фаз - 3
Частота тока, Гц - 50
Скорость осаждения покрытия (нитрида титана), мкм/ч - от 13 до 40
Номинальный ток высоковольтного источника питания подложки, А - 20
Диапазон плавного регулирования величины напряжения высоковольтного источника питания подложки, В - от 100 до 1500
Диапазон плавного регулирования величины напряжения низковольтного источника питания подложки, В - от 20 до 280
Максимальная нагрузка на шпиндель, кг - 110
Максимально допустимая нагрузка на ось сателлита механизма вращения, кг - 10
Диапазон плавного регулирования частоты вращения стола (в обе стороны), мин^-1 - от 0,5 до 12
Длительность цикла упрочнения инструмента, ч - от 2 до 2,5
Размеры рабочей камеры, мм: диаметр - 600⁺³⁰
высота (длина) - 600^-20
Количество электродов токоподводящих (испарителей) - 3
Остаточное давление в камере, Па (мм рт.ст.) - от 6,65·10^-3 до 6,65·10^-1 (от 5·10^-5 до 5·10^-3)
Расход охлаждающей воды, м³/ч, не более - 2
Масса установки, т - 3,0